TMAH浓度计HE-960H-TM

概要

适用于显影液中TMAH的浓度管理HE-960TM可精确测量半导体和液晶生产中光阻显影药液制程中主要成份TMAH (四甲基氢氧化铵)的浓度。FES-510系列专用传感器具有宽泛的量程和高耐药性。4-极式炭质传感器具有显著的耐药性

特征

  • 大量程适用

自动小数点位调整能够测量的TMAH量程从0.000至10.00%。

  • 自动显示范围切换

从高至低浓度显示范围自动切换。当维持有效的电导率分辨率是也可使用该产监测变化

  • 可测3种数值:TMAH浓度值、电导率计和温度

当基于相关温度特性数据补偿温度时测量TMAH浓度。本机也可用于测量其它化学药液的电导率。

  • 耐药性4-极炭质传感器

采用了新型的使用高耐药性玻璃碳材料的FES-510系列4-极式流通型传.

  • 4-通道传送输出

本机配有4个输出通道,所以可分别用于TMAH温度、电导率和温度。可从2个类型的输出电流中进行选择:4至20 mA DC, 或 0 至 20 mA DC.

  • 24 V DC 电源

  • RoHS兼容

HE-960H-TM为无铅焊接的环境友好型产品。 


制造: HORIBA Advanced Techno

規格

◆型号

HE-960H-TM

测量方式

4-极式炭质流通式电导率测量-浓度转换

传感器输入

1-通道

温度传感器规格

铂电阻1000Ω/0ºC

测量范围

TMAH 浓度: 0 to 10%
电导率: 0 to 1000 mS/cm (无温度补偿的测量范围)
温度: 0 100ºC (可选择显示小数点后1位或2)

重复性

±0.5%全量程以内(等价输入)

直线型

±0.5%全量程以内(等价输入)

传送输出

输出点数: 4
4
20 mA DC 020 mA DC: I/O 绝缘型
最大负载电阻:900Ω
传送输出范围:可在量程内任意设定
(
每一个传送输出通道的负端都被内部连接从而具有相同的电势。

接点输出

输出点数: 5
报警接点输出: R1, R2, R3 R4
接点类型: 继电器接点, SPST
接点容量: 240 V AC, 1A 30 V DC, 1A (电阻负载)
接点功能:/下限操作 (ON/OFF 控制)、延迟操作、磁滞
接点动作

 

  • 控制动作中关闭(错误设定时)

  • 正常状态中打开(包括电源关闭)

  • 错误报警输出 (RF)
    接点类型: 继电器接点, SPDT
    接点容量: 240 V AC, 1A30 V DC, 1A (电阻负载)
    接点功能:错误,异常警报和维护
    接点动作: CNO连接,状态正常时关闭,检测到错误时打开(包括电源关闭)(当CNO连接时,触点状态相反)
    (R1
    R2, R3R4, RF 可分别共用)

接点输入

输入点数: 1
接点状态: 打开集电器无电压接点 a
接点功能: 传送输出保持

通讯输出

RS-485输入/输出

校正功能

电导率:基于测量常数(参数输入)的特定补偿系数
温度:与参考温度计作比较进行校正

传送输出保持功能

可从前值保持和任意值保持中选择(但是,在维护模式中仅前值保持可用)

自诊断功能

  • 传感器诊断 (温度传感器的短路和断路)

  • 超出测量范围

  • 转换器错误

温度补偿

  • TMAH特定的温度补偿系数

  • 可选温度补偿系数的输入(参考温度:25ºC;
    温度系数: 0 3%/ºC))

温度补偿范围

TMAH: 050ºC, 电导率: 0 to 100ºC

周围环境

温度: -545ºC, 相对湿度: 2085% (无浓缩)

电源

24 V DC ±10%, 10 W (最大)

保护结构

面板: IP65, 后盖: IP20, 终端: IP00 (室内面板安装型)

质量

550g

适用规格

CE marking, FCC Part 15

兼容传感器

FES-510 系列 (炭质流通型电导率传感器)

产品相关图及其它

Dimensions of HE-960H-TM

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