UVISEL 2 : Une Nouvelle Génération d’Ellipsomètre Spectroscopique

Vue d'ensemble

Des performances Inégalées pour la caractérisation de couches minces

L'UVISEL 2 est une nouvelle génération d'ellipsomètre spectroscopique intégrant un niveau de performance et de fonctionnalités inégalé pour la caractérisation des couches minces.

L'UVISEL 2 intègre de nombreuses fonctions d'automatisation pour le porte échantillon XYZ, le goniomètre, l'auto alignement, l'auto calibration et l'auto diagnostique permettant de répondre à tous les besoins d'analyse ellipsométrique. 

L’UVISEL 2 inclut également un système breveté de visualisation de l’échantillon, couplé à une sélection automatisée de huit tailles de spot. Ce système unique d’ imagerie permet de visualiser tous les types de surface (transparente, rugueuse, plane, réfléchissante) pour un positionnement précis du spot dans la zone de mesure. Parmi les huit tailles de spot, un microspot achromatique de 35µm, le plus petit actuellement sur le marché, est capable de mesurer une large gamme spectrale du FUV au NIR.

Une électronique optimisée, un design optique achromatique et de nouveaux monochromateurs, permettent à l'UVISEL 2 de délivrer des mesures encore plus rapides, stables et précises sur la gamme 190 - 2100 nm.

L'UVISEL 2 est piloté par le logiciel DeltaPsi2, logiciel de référence pour la mesure, la modélisation et la génération de rapports de résultats en ellipsométrie. DeltaPsi2 est un logiciel avancé, comprenant de nombreuses fonctions de modélisation, d'analyses et de recettes automatiques, au travers d'une interface simple d'utilisation.

De part ses fonctionnalités et ses performances, l'UVISEL 2 est l'ellipsomètre idéal pour accompagner les scientifiques dans la caractérisation des couches minces et l'évolution de leurs applications.


Fabriqué par HORIBA Scientific

Caractéristiques

  • Scanning Spectroscopic Phase Modulated Ellipsometer:190-880nm
  • Vision system providing a real-time colour image of the sample and exact measurement spot using the ellipsometer head.

  • Computer controlled Microspots

    • Choice of 8 different spot sizes to suit the feature size of sample.
    • Achromatic microspot optics down to 35 µm

  • Computer controlled variable angle goniometer

    • Angle range 35° - 90°
    • Allows Variable Angle Spectroscopic Ellipsometry

  • Computer controlled 200mm x 200mm XYZ Stage

    • For automated sample mapping
    • 200mm square sample holder with 2 reference samples attached
    • Automatic Z-height adjustment : 40mm with Autofocus

  • Motorised Sample Tilt Alignment

    • Alignment of the sample by laser system

  • 150 W Xenon light source

  • Double Monochromator System for UV-Vis Range

    • 190nm – 1000nm (stray light rejection < 0.5% at 190nm)
    • Twin PMT detectors for highest sensitivity and dynamic range

NIR Extension up to 2100 nm

  • Monochromator for NIR Range

    • 880nm – 2100nm.
    • InGaAs detector

  • Computer and Delta Psi2 Software package

    • Acquisition, Calibration and Data interpretation
    • Automatic Calibration

Support Documents

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