Metrology / Inspection

HORIBA分光技術を応用した自動搬送機能付きフォトマスク異物検査やウェハ欠陥検査ソリューション

Metrology

全自動薄膜検査装置 Xtrology

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フォトルミネッセンスマッピングシステム PLATO-200/300

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SiCウェハ欠陥検査 MiPLATO-SiC

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マイクロLED 欠陥検査/分析システム PLIMA-LED

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Inspection

レティクル/マスク異物除去装置 PD10-EX

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レティクル/マスク異物検査装置 PD10

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異物除去装置 RP-1

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ナビ (アプリケーション集）

Semiconductor Mask/Inspection Process

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Semiconductor Mask/Inspection Process（English）

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総合カタログ

Answer to SEMICONDUCTOR Industry

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Answer to SEMICONDUCTOR Industry（English）

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