Photoluminor-D

シリコン中不純物定量分析用フォトルミネッセンス測定装置

Photoluminor-Dはシリコン中の微量不純物分析用途を目的として開発されました。シリコンは最もよく使用されている半導体です。フォトルミネッセンス法は品質管理に応用すぺく長年研究が行われてきました。1977年電子技術総合研究所の田島道夫博士はシリコン中の不純物定量分析をフォトルミネッセンス法で評価する方法を開発されました。この方法によりシリコン中のB, P, Al, As 不純物がpptオ一ダーで解析出来るようになりました。PL法によるシリコン中の不純物定量分析は、現在ではASTMとJISに登録されています。