| Model | OPM-300T | OPM-300T-IRBF | OPM-300R |
| H/W General | Multi sample loading system | ||
| 4 axis motorized stage (XY,Tray,R) | 5 axis motorized stage (XY,Tray,R1,R2) | ||
| Automatically adjustable incidenct angle (Variable AOI between, 300T, 300T-IRBF : 0-45°, 300R : 5-35°) | |||
| Measurable Range | 350-1300 nm | 800-1100 nm | 380-800 nm |
| CCD Pixel Dispersion | 1st : Approx. 0.43 nm 2nd(1100nm~) : Approx. 2.34nm | Approx. 0.2 nm | Approx. 0.21 nm |
| Light Source | UV lamp, Tungsten halogen lamp | Tungsten halogen lamp | |
| Measurement Item | Wavelength at T(R)n%, T(R)% at n wavelength, T(R) Avg/Max/Min, Slope, Δwavelength of different incident angle | ||
| Repeatability / Reproducibility | Related with λ item : 1st ≤±0.3 nm, 2nd(300T only) ≤±1 nm Related with T% item : ≤±0.4% | Related with λ item : 1st ≤±0.3 nm Related with R% item : ≤±0.25% | |
| S/W General | Operator, Engineer, Maintenance mode | ||
| Mapping & Multi Point Measure function by user recipe | |||
| Measurement Capa. ( 1point/filter, 1 angle) | Approx. 216,000 pcs/month(24h x 30d) | ||
| Operating Environment | Place : Clean Room (Class -10,000) | ||
| 15-35℃ | |||
| < 85% RH with no condensation | |||
| Dimension (WxDxH) | 1230 x 1515 x 1142 mm | 1550 x 1515 x 1142 mm | |
| Weight | Approx. < 400 kg | Approx. < 450 kg | |
| Power Spec. | Single phase, 220 V, 15 A | ||
OPM Series
光学特性計測システム
OPM Seriesは、複数サンプルの自動交換と調整可能な入射角により、紫外光領域～近赤外光および可視光領域における分光透過率・反射率を測定し、迅速な検査を実現します。
従来の波長走査方式に対し、カメラフィルター検査用高速光学測定システム OPM Seriesは、アレイ CCDによる検出を採用しており、高速かつ全波長検査を実現しています。
OPM-300T
紫外光から近赤外光までの透過率測定
OPM-300T-IRBF
バンドパスフィルターによる透過率測定
- 狭帯域、高分解能
- オプション：高解像度測定
OPM-300R
紫外光領域から近赤外光領域までの反射率測定
事業セグメント: 半導体
製品分類: Metrology
特長：
- マルチソケット式サンプルローディングトレイ（320×320 mm）システム
全軸サーボモーター駆動による自動スロット/位置移動、可変入射角調整機能（フィルム/ガラス型光学フィルター用：300Tシリーズは0-45˚、300Rシリーズは5-35˚） - 測定ごとの自動基準値チェック機能（T%測定時は空気、Abs. R%測定時は既知の高/低サンプル）
- R%結果グラフへのユーザー事前設定仕様の重ね合わせ表示により製品品質の判定を支援
- サンプル領域全体の均一性を確認する高速X-Yマッピング機能
- OPM Series専用「対向入射角補正」機能：基板表面の反りによる入射角誤差を補正し、カットオン/オフ波長判定誤差を防止
- サンプル移動時間を除く概算タクトタイム：1測定点あたり約2秒（OPM-300T）、約1秒（OPM-300T-IRBF/OPM-300R）
様々な入射角における透過率
測定ソフトウェア
カスタマイズ可能なサンプルトレイ
