外形寸法
PLATO-MicroScan
マイクロフォトルミネッセンスマッピングシステム
PLATO-MicroScanは、PLATO SeriesをPlatformに対物レンズを搭載した顕微フォトルミネッセンス (PL) マッピングシステムです。この対物レンズを使用したマイクロPLマッピングシステムは、空間分解能数µmレベルでの測定が可能で、InP系等のスケールが小さい微小欠陥に有効な製品です。量産品質の向上やMOCVDのプロセス条件出し、MQWの設計変更等にバンドギャップ測定や微小欠陥検出といった側面からサポートいたします。
事業セグメント: 半導体
製品分類: Metrology
特長：
- 顕微PLマッピングシステム
- 空間分解能：1 μm
- ハードウェアの改造無しで2-8インチに対応
- 顕微PLマッピング機能
- オートフォーカス機能
- アライメントキーによる微調整機能
- 対物レンズ（5×）：顕微PLマッピングおよび調整用
- 対物レンズ（10×、20×）：顕微PLマッピング用
- 最大4chレーザー搭載可能
- 532、785、980、1064 nmレーザーから選択可能
ソフトウェア/ オプション
スループット
| ウェハサイズ | PL | PL > 膜厚 | PL > 膜厚 > 反り |
|---|---|---|---|
| 100 mm | >35 WPH | >17 WPH | >10 WPH |
| 150 mm | >25 WPH | >12 WPH | >8 WPH |
| 200 mm | >10 WPH | >5 WPH | >3 WPH |
| 300 mm | >6 WPH | >3 WPH | >2 WPH |
オプション
- 最大4台のレーザーを搭載可能
－213、266、355、375、405、532、637、785、980、1064 nm - 各種検出器および分光器オプション
－FA用ウェハIDリーダー、カセットIDリーダー - ラボ用マニュアルローディングシステム
－1ポートでコンパクトな設計
