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〈カタログ〉PLATO Series
In-Situモニタリングシステム
PyroSenseシリーズは、MOCVD/MBEにおけるエピタキシャル成長プロセス用のin-situ監視システムです。成膜プロセス中の温度、膜厚(成長速度)、反りをインラインで監視します。CVD、MBE、ALDなどの成膜装置向けin-situ監視ツールとして、リアルタイム放射率による温度測定、反射率による反り測定、膜厚(成長速度)測定を実現します。
PyroCurveSense
温度・膜厚・反りを測定できるオールインin-situモデル

PyroSense
温度・膜厚を測定出来るin-situモデル

PyroSense-T
Si-ALDプロセス向け低温領域測定対応モデル

| モデル | 温度 | 反射率 | 曲率 |
| PyroSense | O | O | X |
| PyroCurveSense | O | O | O |
| PyroCurveSense+ | O (2 Ch) | O (2 Ch) | O |
| PyroCurveSense++ | O (3 Ch) | O (3 Ch) | O |