VC 系列

Direct Liquid Injection System VC Series

直接液体注入系统

VC 系列能够在无载气的情况下快速汽化纯水或其他液体源,组建更紧凑的汽化系统。

HORIBA 可为您提供由 VC 系列和您需要的所有其他组件组成的定制汽化系统:

  • 一种用于流量测量的液体质量流量计
  • 一种用于蒸气流量测量的高温质量流量控制器
  • 阀门、过滤器、加热器等
事业部: 半导体
产品分类: 流体控制
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.
  • 尺寸紧凑
  • 可安装在各种位置
  • 最畅销的 TEOS 汽化系统
  • 结合 SEF 或 LF,可实现数字控制
  • 无需特殊鼓泡罐或汽化罐
  • DeviceNetTM 型产品系列
  • 符合 RoHS 标准

Model

VC-1420

 

Flow rate generated*1 (During TEOS generation)

Max. 5.0 CCM conversion (liquid phase conversion)

 

Liquids supported

 TEOS, P(OCH3)3, C6F6

Temperature rise

 Max. 150°C

Pressure generated*1

 Reduced pressure

External leak integrity

 1.0x10-8Pa·m3/s

Internal Leak Integrity

 1.0x10-6Pa·m3/s

Wetted mateliar

316L Stainless Steel ( polished surface )

Internal heater volume

 AC 100V to 120V 70W(35Wx2)

Temperature sensor used

Thermocouple K type (CA)

Pressure Resistance

 1.0MPa(G)

 Standard Fitting

 Liquid inlet: 1/8 inch VCR type male Gas outlet: 1/4 inch VCR type female

 

*1 Varies depending on the type of liquid.

 

*CCM is a symbol indicating gas flow rate (mL/min at 25°C, 101.3 kPa).

 外形尺寸

External Dimension of Direct Liquid Injection System VC Series

光伏制造过程的过程控制与现场测量
光伏制造过程的过程控制与现场测量
用于实验室研究与测试的液体源蒸发与供应
用于实验室研究与测试的液体源蒸发与供应

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