光纤式药液浓度计 CS-100F1系列

概要

HORIBA药液浓度计CS-100F1系列是针对在半导体制造中的清洗及蚀刻工艺中所使用的各种药液进行高精度浓度监测的设备。
它通过利用光纤传播光信号,把样品单元直接组装到清洗装置配管上,实现实时在线测量。 同时,1台单一的浓度计最多可以测量4种药液或量程,在单槽/单晶圆清洗系统中进行单线监测成为了可能。此外,测量单元型产品适用于更高精度需求应用的浓度反馈控制。

特征

特点

●利用1台浓度计最大可以监测4种(药液或量程)的多样监测。

●实时浓度监测。测量单元型产品适用于更高精度需求应用的浓度反馈控制。

●监测周期大约3秒,300mm工艺的浓度管理。

●通过完全分离电气部分和测量部分以提高稳定性。

●轻便小巧的设计有利于节省清洗装置的空间。

●通过减少清洗工艺中的批次不良以提高产量。

主要特点

●利用1台浓度计最大可以监测4种(药液或量程)的多样监测。
1台浓度计中最多可存储4种校正系数(药液或量程),可监测单槽或单晶圆等批次清洗方式的清洗装置1种以上药液(或者不同的药液配比)浓度。

●实时浓度监测。测量单元型产品适用于更高精度需求应用的浓度反馈控制。 通过使用可直接组装在清洗装置主配管中的在线检测单元,实现了实时的浓度监测。为了强调稳定性,也可使用检测单元装置型的浓度计,以进行反馈控制。可以保持在药液浓度值的允许范围内,同时也可以避免不必要的药液更换工作。

●监测周期大约3秒,300mm工艺的浓度管理。
以大约3秒这样短的测量周期实现了高速响应性。支持多槽、单槽・单晶圆方式清洗装置的精确浓度管理。

●通过完全分离电气部分和测量部分以提高稳定性。
使用光纤传输光源信号确保了了浓度计和检测单元的完全分离。由于可以把浓度计设置在药液气体以外,所以不需要担心腐蚀等现象。

●轻便小巧的设计有利于节省清洗装置的空间。
由于底面面积只有本公司原来产品的2/3左右,这种小巧化设计有利于清洗装置节省空间。可以很容易地组装到清洗装置中。除此以外,由于重量较轻,所以也可以设置在清洗装置的上面。

●通过减少清洗工艺中的批次不良以提高产量。
通过使用监测输出,进行各成分药液的补给控制,从而实现了高再现性的清洗。减少清洗工艺中的批次不良,从而有利于提高提高产量。

 


制造: HORIBA

規格

型号

CS-151F1

CS-152F1

CS-150F1

测量对象

SC-1
(氨/过氧化氢水溶液)

SC-2
(盐酸/过氧化氢水溶液)

SPM
(硫酸/过氧化氢水溶液)

1台最多可进行4种药液或量程测量的多样监测。

测量原理

吸收光谱测定法

浓度计算原理

温度补偿型多变量解析法

量程

NH3:0.00%〜1.00%
H2O2:0.00%〜5.00%
H2O:94.0%〜100.0%

HCl:0.00%〜2.00%
H2O2:0.00%〜2.00%
H2O:96.0%〜100.0%

H2SO4:70.0%〜96.0%
H2O2:0.00%〜10.00%
H2O:4.0%〜30.0%

再现性精度(质量%) (室温变化±1℃以内)  

NH3:±0.15%
H2O2:±0.30%
H2O:±1.5%

HCI:±0.15%
H2O2:±0.15 %
H2O:±1.5%

H2SO4:±0.50%
H2O2:±0.50%
H2O:±1.5%

样品温度

20〜80℃(使用在线检测单元)
20〜30℃(使用检测单元装置)

测量周期

约3秒

LCD显示以及输入内容

・第一成分 浓度测量值(%)
・第二成分 浓度测量值(%)
・第三成分 浓度测量值(%)
・第一和第二成分; 浓度报警状态

・错误代码
・并行浓度报警输出无效状态
・串行/并行状态
・背底补偿信息

串行输入
RS-232C

・串行/并行状态转换
・检测数据传送要求
・第一、二成分浓度警报值的设定

・并行浓度警报输出状态(有效/无效)
・检测对象药液转换

并行输入

DC12〜30V(光耦合器绝缘)

・并行浓度报警输出
・测量对象药液转换
・背景值校正

并行输出

打开控制器输出(光耦合器绝缘)
ON时的最大电流:DC5mA(无内部保护电阻)
OFF时最大引火电压:DC30V

・第一成分浓度报警4种
・第二成分浓度报警4种
・装置异常
・测量中
・检测对象药液种类
・背景值校正状态

药液温度输入

接头排连接(接线柱螺丝M3)
・白金测温电阻传感器:Pt100(请客户自己准备Pt传感器。)

模拟输出

・第一成分浓度报警4种:4〜20mA
・第二成分浓度报警4种:4〜20mA
※也适用于其它量程。订货时请指定。

光纤

CS-100F1系列专用光纤(安装温度25±15℃)

样品检测单元

可适用于各种药液的专用样品检测单元(在线检测单元、检测单元装置)。

电源

AC 100V〜230V(单相)±10%、50/60Hz、約100VA

外形尺寸

205(W)×329(D)×269(H)mm(突起部除外)

重量

大约11kg

产品相关图及其它

Dimension of CS-100F1