冊子版 最新号

最新号をご覧いただけます。
HORIBAでは、技術情報誌としてReadoutを発行しています。誌名“Readout(リード・アウト)”には、HORIBAが創造・育成した製品や技術に関する情報を広く世にお知らせし、読み取って頂きたいという願いが込められています。
本号では,デジタル化が急速に進む社会において,HORIBAの自動化とデジタルトランスフォーメーション技術で,自動車の試験・開発,材料分析,大気・水質環境,医療,製薬,燃料電池,半導体,さらにはサービスメンテナンスの多岐に渡る分野にお…
Abstract
半導体製造プロセスでは, ドライエッチング等の技術を用いてnmオーダーの微細化が進んでいる。 最先端のエッチングプロセスにおいては様々なパラメータを制御・モニタリングすることでプロセスコンディションを管理しており, ”温度”は非常に重要なパラメータの一つである。 特に,…
The use of imaging techniques is of fundamental importance in uncovering the structure and dynamics of both biological substances and…


