EC Series

• 高真空対応
  ステンレスボディを採用
• 耐腐食性対応
  PTFE（ふっ素樹脂）採用モデルもラインアップ
• 排気圧制御システムを構築
  圧力伝送器（EMTGC1B-B）
  コントローラ（PCU-3000）をラインアップ
• RoHS指令対応

※本製品（EC-5202）は、外国為替及び外国貿易法上の規制された貨物です。海外に輸出される場合は、経済産業大臣の許可が必要となります。

■拡散・熱酸化プロセス
・縦型炉、特にリン拡散。パイロジェン酸化に最適。
・PTFE（ふっ素樹脂）タイプで高温。
・腐食性ガスに対応。
・耐食圧力センサもラインアップ。

■スピンコーター・デベロッパープロセス
最適排気量に調節することにより「レジストの膜厚分布の均一化」「ミストの再付着防止」「危険な蒸気の拡散防止」に大きな効果があります。また流量センサによる制御に比べ、レジスト等の汚れによる感度の経時変化が低減され、乱流ノイズの影響もなく安定性・応答性に優れた制御が可能です。

■元圧変動影響特性
元圧変動時の圧力制御状態です。優れた安定性をご確認ください。

■制御応答特性
バルブフルオープン状態までの素早い応答をご確認ください。