(株)堀場製作所(本社・京都市,社長・堀場 厚)は、液晶(ＬＣＤ)やプラズマディスプレー(ＰＤＰ)などフラットパネルディスプレー(ＦＰＤ)の、線や点状のコントラストの欠陥(品位)を、従来比約５０倍の高分解能で検出する、ＦＰＤ品位検査装置を、ベンチャー企業のテクノス株式会社(奈良市,社長・八重津 真彬)との共同で開発に成功しました。
ＣＲＴに代わる薄型表示装置として市場が急拡大するＦＰＤの検査分野へ、本機を手初めに参入します。なお、７月より受注を開始します。
壁掛けテレビ,液晶ビデオ,液晶プロジェクターといった、ＣＲＴに代わる新しい表示装置として、半導体業界で事業強化が進んでいる、ＦＰＤ製品の製造工程の最終段階に、輝度(コントラスト)の均一性および欠陥といった品位検査があります。
画面の面積が大型化するに従い、均一性の面で歩留まりが低下する傾向にあり、品位検査の重要度は、今以上に大きくなると思われます。
一方、従来よりこれら品位検査は、ＣＣＤカメラを使用した自動検査機がありますが、①分解能が約50万画素程度で開発が進む高精細画素(100ミクロンオーダー)に対応できない②ＬＣＤのように視野角で輝度に差が生じるもの、特に面積が大型化するほど、中心と周辺部分で感度差が出る、といった問題で、目視による検査が主流なのが現状で、商品の大型化に伴い、品質管理部門の負荷が増大が予想されます。
今回開発した装置は、テクノス社が開発した独自の光学系と画像処理技術により、１９インチ(Ａ３サイズ)までの各種ＦＰＤの各種欠陥を、約３０００万画素（従来比約５０倍)の高分解能で、しかも約２０秒と高速で、完全自動無人検査ができます。また、検出器のＣＣＤを直線配列したラインセンサが、測定物に対して常に垂直方向にあるので、全面を高精度で検査できます。
目視検査に比べて、検査結果にバラツキが無く、また、最大１９インチまでと、商品の大型化にも対応する、ＦＰＤ市場での品質管理部門に不可欠な検査装置です。
なお、製品化は今秋を目処とし、輸出も含めて、ＬＣＤメーカーやＰＤＰメーカーに販売する計画です。
〈 主 な 特 長 〉
- 検査視野角は全画素に対し垂直→全面にわたって精度が均一
- 従来のカメラ型に比べ約50倍の高解像度→商品の大型化に対応(最大19インチ)
〈 主 な 仕 様 〉
測定方式：密着型カラーＣＣＤリニアイメージセンサによるスキャニング方式
測定対象：ＦＰＤ（ＬＣＤやＰＤＰ） 最大19インチ(Ａ３サイズ)まで対応
解 像 度：６３.５μｍ×６３.５μｍ
測定項目：11項目（欠陥，輝度ムラなど）
- ポジショニングチェック→表示内容のズレを検査
- ニュートンリング→リング状の輝度ムラ(シミ）
- 線欠陥→線状の欠陥
- 点欠陥→点状の欠陥
- ラビングスジ→斜め方向のブロック状の輝度ムラ
- 白点欠陥→白ヌキ状の欠陥
- ブロック分かれ→水平・垂直方向のブロック状の輝度ムラ
- 白スジ,黒スジ→スジ状の欠陥
- シミ→かたまり状の輝度ムラ
- ムラ→広範囲の輝度ムラ
- シャドーイング,クロストーク→特定画面でのブロック状の輝度ムラ
測定時間：約20秒
〈 受注開始 〉 本年７月
〈予定価格〉 ３,８００万円（標準仕様）
〈 測定原理 〉
検査するＦＰＤモジュール(測定物)を点灯させておき、密着型ＣＣＤラインセンサを水平方向にスキャンすることにより、測定物の全画素の点灯輝度を測定する。この測定された全輝度のデータを基に画像処理を行い、各種欠陥(品位)を判別する。検出された各種欠陥(品位)情報はパソコンによりデータ管理される。
参考資料
- ＦＰＤ＝フラットパネルディスプレーの略称で、ＬＣＤ(液晶)、ＰＤＰ(プラズマデスプレー)等の総称。ＦＰＤ分野では、薄型、軽量を最大の特長として、現在主流のＣＲＴに置き換わるべく各種新製品が登場している。特に、ＬＣＤはＰＣの表示装置として市場が急拡大している。また近年、ビデオムービー、液晶プロジェクターやナビゲーションシステム等に市場拡大している。壁掛けテレビとして期待の大きいＰＤＰも新製品発表が相次ぎ、今後の大画面表示装置として市場の急拡大が期待される。
反面、従来のＣＲＴに比べ、現在歩留まりが低く、最終検査工程で、各種欠陥を検査する需要が従来より高い。・品位＝ＦＰＤの最終検査で、線欠陥,点欠陥,輝度ムラ,シミ等の欠陥の有無により製品の良否判定を行うが、その各種欠陥検査を品位検査と呼ぶ。 - 密着型ＣＣＤラインセンサ＝ビデオムービー等に使用されるセンサは平面型ＣＣＤであるが、センサの全素子が直線状に並び、ＦＡＸ機のように走査(スキャン)しながら、被検査対象に密着して輝度を測定するセンサ。
テクノス（株）概要
設 立：1992年8月
資 本 金：2500万円
社 長：八重津 真彬
住 所：奈良市法蓮町197-1
社 員 数：22名
売 上 高：2.3億円(1996年度実績)
事業内容：
液晶検査装置，画像処理ボードの開発
・製造および電子回路
・メカニズム，オリジナルソフトウエアの開発