*1株式会社堀場製作所、*2株式会社日立サイエンスシステムズ、*3 Oxford Instruments plc.
最近の分析の現場では走査型電子顕微鏡（SEM）とエネルギー分散型X 線元素分析装置（EDX）とを同時・並行的に使うケースがほとんどである。従来はそれぞれ機能的に独立したものを組み合わせていたため、操作が煩雑になり、またそれぞれの機器に応じたノウハウの蓄積が必要であった。そこで、堀場製作所、日立製作所、オックスフォード・インストゥルメンツ社の3社の得意技術を持ち寄り、「誰もが簡単な操作で素早く鮮明なSEM観察と正確なEDX分析ができる」SEMとEDXを一体化させた分析システム SEMEDXシリーズを製品化した。本稿ではSEMEDXの特長的な機能を紹介する。