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サーモパイルセンサーは、入射赤外線を受光した薄膜部の温度上昇を電圧に変換する熱型の赤外線センサーです。
2種類の金属でループを組み、二つの接点間に温度差があると、その差に応じた熱起電力が発生します(ゼーベック効果)。これを利用して温度を測定するのが一般に知られる熱電対であり、サーモパイルは複数の熱電対を集積化して直列につなぐことで感度を大きくしています。HORIBAのサーモパイルは、環境温度変化に強い独自構造を採用しているため、測定値の安定に優れています。環境温度の急激な変化に伴う測定値のドリフトを大幅に低減し、安定計測に寄与します。
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