チャンバクリーニング終点検知用ガスモニタ IR-200

半導体製造の成膜プロセスは、微細加工の進歩に伴い、処理後のチャンバを常にクリーンな状態に保つことが、生産性向上に重要とされています。IR-200は、排ガス成分をリアルタイムに監視する成膜プロセス用チャンバークリーニング終点検知モニタです。ドライクリーニング終点検知の最適化、クリーニングガス・時間の削減、チャンバーダメージの低減による部品の長寿命化に貢献します。