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光ファイバ―式 熱リン酸濃度モニターを6月27日に販売開始

2020年6月26日


半導体製造プロセスの効率化に貢献
堀場アドバンスドテクノは、2020年6月27日より「光ファイバー式 熱リン酸濃度モニター CS-620F」の販売を開始します。同製品は、半導体製造プロセス、主に3次元NAND型フラッシュメモリーのSiN層※1エッチングプロセスで使用するリン酸の濃度管理を行います。従来は高温のリン酸を冷却し、濃度を測定する必要がありましたが、サンプル測定部にPFA※2を採用することで、高温のまま薬液の濃度測定を実現しました。これにより、冷却機構および冷却時間が不要となるため、半導体製造プロセスの効率化に貢献します。また、6月27日~29日に上海市で開催されるSEMICON China 2020に出展し、海外展開も行います。販売目標として2025年までに300台をめざします。

※1 SiN層:シリコンウエハ上などに形成されるシリコンと窒素化合物の薄膜
※2 PFA:耐熱性、耐薬品性に優れているフッ素樹脂の一種
 

開発の背景

データセンターや5G向けなどの半導体需要が堅調に推移しています。半導体は、省電力化や高性能化を目的とした微細化、多層化が進み、半導体製造プロセスにおける処理時間と処理量が増加しており、半導体製造プロセスの効率化、歩留まりの向上などは市場課題となっています。このような市場ニーズに応えるため、高温高濃度リン酸の濃度管理における効率化を実現する新製品を開発しました。
  

主な製品特長

  • 高温のリン酸(140度~170度)を冷却せずに測定ができるため、冷却機構および冷却時間が不要になりました。
  • サンプル接続部にPFAを採用することで、コンタミネーションリスクを低減します。
  • 3秒ごとに測定データを更新するリアルタイム測定により、制御の高速化を実現しました。
  • 半年に1度の校正で装置ダウンタイムを大幅に削減します。
     

製品概要

名称

光ファイバー式 熱リン酸濃度モニター CS-620F   

寸法

サンプルセル 240(W)X 209(D)X 205(H)mm(突起部除く)
モニター本体 200(W)X 308(D)X 78(H)mm(突起部除く)
光源ユニット
200(W)X 262(D)X 100(H)mm(突起部除く)

測定原理

吸収分光法

薬液温度

140度~170 度

質量

サンプルセル 約3.0 kg
モニター本体 約3.6 kg 
光源ユニット 約2.8 kg