Process Control and In-situ Measurement for Photovoltaic Manufacturing Process
UR-Z700 Series
オートプレッシャレギュレータ
高精度圧力センサ、高分解能・高速応答のピエゾバルブを採用したデジタル制御回路搭載のオートプレッシャレギュレータです。各種外部信号による遠隔操作が可能で、自動的に圧力を調整します。
接ガス部にオールメタルを採用し、デッドボリュームが極少のため、腐食性ガスや低蒸気圧ガス等にも最適です。
- 瞬時変動の影響のあるラインにおいても安定した圧力制御を実現
- ガスラインのシンプル化により、デッドボリュームの大幅な低減が可能
- 液体材料のバブリング時に容器内圧力の任意設定が可能
- デジタル/アナログ通信、DeviceNet™ 通信、EtherCAT® 通信に対応
■元圧変動時の高速かつ正確な圧力調整
一次側元圧が急激に変動した場合、従来の機械式調圧器では応答性、調圧特性により二次側のMFCに影響を与えることがあります。また、微少流量域では、分解能の問題でハンチングのような現象をおこす場合もあります。高精度・高速応答のURにより、正確で安定な圧力制御が可能です。
■複数ラインでの圧力干渉防止
MOCVD、液晶スパッタCVDなど大型装置でガスを分流しMFCで制御する場合、急激な流量変化により他のラインに影響を与えることがあります。この場合にも、URの高速かつ正確な圧力調整により、各MFCは互いに影響を及ぼすことなく安定な制御が可能です。
■圧力の遠隔設定（デッドボリュームの大幅な低減）
電気的信号による圧力制御が行える為、従来の調圧器では困難なガス配管のデザインを可能としました。シンプルな配管は、デッドボリュームが極少でガスの溜りがなく、置換性能が大幅に向上します。さらに操作パネルから圧力計や調圧器つまみがなくなります。
