CRITERION DZ-100 Series

超薄型マスフローモジュール

差圧検出方式を採用した10mm幅の最先端プロセス向け高性能マスフローモジュールです。±0.5% S.P. の高精度と応答速度0.4秒以内を実現しています。

新製品のDZ-107 Series（EtherCAT®通信モデル）では10mm幅の薄さを維持しつつ、フルスケール流量の最大化（20SLM）、およびガスデータの内部搭載による柔軟な運用性を実現しました。

事業セグメント: Semiconductor

製品分類: Fluid Control

製造会社: HORIBA STEC, Co., Ltd.

高速応答
応答速度：0.4秒以内
軽量化・コンパクト
幅10mm、高さ99mm（DZ-114S）
高精度
±0.5% S.P.を実現
集積化対応
通信方式
DeviceNet™通信モデル
EtherCAT®通信モデル
一次側供給圧力範囲の拡大
110～900kPa（DZ-114S）
マルチガス・マルチレンジ・マルチプレッシャー機能
ユーザーサイドで「ガス種」「フルスケール流量」「供給圧力レンジ」
の変更が可能。予備品低減など、コスト削減に貢献します。