Size:
0.59
MB
PD10-EX カタログ
PD10-EX
レティクル／マスク異物検査装置
異物検出・除去を１台で完結、半導体製造プロセスの効率化・歩留まり向上を徹底追求
半導体製造の露光工程に欠かせない異物検査装置の「PDシリーズ」は、1984年の発売以来、お客様のニーズに応えながら進化を続け、今年で40年の節目を迎えました。
新製品「PD10-EX」は、好評をいただいている従来機「PD10」をベースに異物除去機能を搭載し、検出から除去まで１台で完結できます。さらに、レティクル／マスクの自動搬送に対応する自社開発のユニットを搭載し、半導体製造プロセスの効率化と歩留まり向上に貢献します。
半導体産業における分析・計測・制御ニーズは、これまでにないスピードで高度化・多様化しています。HORIBAは、さらに異物の成分分析やペリクル※１の膜厚測定などをワンストップで実現できるようPD10-EXの機能拡張を進めており、今後も新たな可能性を提示してまいります。
※１ レティクル／マスクのパターン面への異物付着を防ぐための防塵膜
1. 異物検出・除去工程の一体化により、作業効率・歩留まりを向上
95%以上の異物除去率※２を誇る当社のレティクル/マスク自動異物除去装置「RP-1」の機能を「PD10」と一体化。異物の検出から除去まで自動で行うことを可能としました。また、レティクル／マスクが格納されたケースを2式同時にセットできるマルチポートも備えており、連続的に異物検出・除去を行うことができます。
※２ ガラス面に5μｍのガラスビーズが付着した状態での社内テストによる結果。使用方法や条件によって効果が異なる場合があります。
2. 自動搬送装置との連携により、製造プロセスの自動化・省人化を促進
半導体製造工場内のOHT（Overhead Hoist Transport：搬送物を吊り下げた状態で保持し、天井に設置された軌道レールを走行する自動搬送装置）との連携に必要とされるEFEM（Equipment Front End Module：レティクル／マスクをOHTと異物検査装置の間で受け渡すユニット）を自社開発しました。お客様が求める仕様へ柔軟に対応し、生産性向上や人手不足の解消、製造エリアのスリム化を図るために重要とされる自動化・省人化に貢献します。
