| 型式 | PD Xpadion | |
| 寸法 | (W) x (D) x (H) | 1,000 x 1,850 x 1,600 mm |
| 重量 | 約 950kg | |
| 感度 | パターン面 | 0.5 μm / 0.35 μm (0.1 μm : マスクブランクス専用機の場合)*¹ *² |
| ガラス面 | 5.0 μm (0.5 μm - : 高感度オプション)*¹ *² | |
| ペリクル面 | 10.0 μm (0.5 μm - : 高感度オプション)*¹ *² | |
| 光源 | 633 nm He-Ne レーザー 又は 488 nm 固定レーザー | |
| レティクルサイズ | 5 inch ～ 9 inchまで対応 | |
| ケース開閉機 | SMIF POD他、各種ケースに対応 | |
| 測定時間 | 約12分 (測定開始～データ表示まで、6 inch 2面検査時) | |
| パネル表面処理 | SUSパネル | |
| 設備環境 | クリーン度 | Class6 ISO基準 |
| 温度 | 23 +/- 1°C | |
| ユーティリティ | 電源 | AC200～240 V単層, 2 kVA 50/60Hz |
| 真空源 | 圧力 -80 kPa以下 | |
| 圧空 | 0.6 MPa ～ 0.7 MPa | |
新規機能/オプション | レティクルエッジハンドリング | Yes |
| オートキャプチャ / オートサイジジング | Yes | |
| データブラウズ機能 | Yes | |
| 御検出低減昨日 | Yes | |
*1 PSL粒子相当感度
*2 サンプルの種類および状態により検出感度が変わります。ご購入前のサンプル評価を推奨致します。
