高温度リン酸濃度測定時に、冷却プロセスを踏んでいませんか? ー より効率的にリン酸濃度を管理できる!光ファイバ式熱リン酸濃度モニタ ー

3D NANDフラッシュメモリ製造工程のSiN層のエッチングプロセスでは、リン酸の濃度を管理することが重要です。しかし、高温なリン酸濃度を測定する際、一度リン酸を冷却するプロセスを踏むと、さまざまな課題が生じてしまいます。

 

冷却プロセスがあることで生じる課題

・リアルタイムに測れない

高温度のリン酸を一度冷却機に通して冷やしてから測定し、再度高温にして元のプロセスへ戻すため、測定するのに時間がかかってしまいます。濃度が表示されている時間と実際に計測している時間にズレが起こり、正確な数字で管理ができません。

 

・配管が詰まってしまう

高温度のリン酸の温度を下げると、シリカが析出する可能性が高まり、配管が詰まってしまう原因となります。また、配管をきれいにするための薬液も購入する必要があり、コストがかかります。

 

・冷却装置のスペースの確保が大変

冷却装置は大きくスペースをとります。新しくラインや工場を増設する際は、冷却装置分のスペースを検討しなければなりません。

弊社でもお客様から上記の課題に関するご相談をよくいただきます。

 

高温のまま測れる!HORIBAの光ファイバ式熱リン酸濃度モニタ CS-620F

上記の課題を解決し、冷却せずに高温のままリン酸濃度を測定できるのが、光ファイバ式熱リン酸濃度モニタ CS-620Fです。

【冷却プロセスを踏まないメリット】

✔ 冷却時間がないため、リアルタイムな管理ができる

✔ 配管の詰まりが発生しにくく、余計なメンテナンスコストを減らせる

✔ 冷却装置が不要なため、スペースの削減や設営コストの低減ができる

 

HORIBAの光ファイバ式熱リン酸濃度モニタ CS-620Fなら、冷却不要で高濃度・高温リン酸のリアルタイム測定を実現します。高温リン酸を使用する3D NAND製造工程におけるSiN層エッチングプロセスに最適です。

 

            【本製品はこのような方におすすめです】

            ・高温度リン酸濃度プロセスを改善したいと感じられている方
            ・生産プロセスにおけるコスト削減を検討されている方

製品の詳細については、以下より製品ページをご覧下さい。

ご質問やご不明点等ございましたら、ぜひお気軽にお問い合わせください。

お問い合わせはこちら