VS-70

コンパクト分光器

半導体、医用、ライフサイエンス、工業分野等、幅広い実績をもつ、ロングセラーの小型分光器です。自社技術の収差補正型凹面回折格子を使用し、70mmの焦点距離でありながら、高分解能、高スループットで低迷光な高度な光学系を実現しました。

事業セグメント: 科学
製造会社: HORIBA Scientific
  • お客様の要求に合うようにカスタマイズ可能
  • 小型のため、さまざまの装置に搭載可能
  • 波長範囲は次の6種類から選択可能(200-860nm、200-910nm、380-750nm, 200-1050nm、380-1050nm、650-1020nm)
  • 低ノイズ・高ダイナミックレンジ・高線形性の検出器
  • 検出器は用途によって選択可能(高速、高ダイナミックレンジ、スマート)
  • 凹面グレーティング搭載で優れた光学性能、高スループット(F2.3)、低迷光
  • 裏面照射型のCCD検出器
  • 安定、高信頼性
  • スマート機能(感度機差補正、光源制御、温湿度モニタ、判定・同定アルゴリズム、複数の連携)の追加

アプリケーション

  • プラズマ発光分光 
  • 蛍光
  • リフレクトメトリー
  • 吸収
  • 品質管理
  • ウェハ検査

分光器仕様

波長範囲 200-860 nm,  200-910 nm、380-750 nm、200-1050 nm、380-1050 nm、650-1020 nmから選択
ファイバコネクタ SMA (標準)、SMA以外入力コネクタも可能
波長分解能 約1.5 nm (200-1050 nm仕様で25um Slitを使用した場合)スリット幅は、25-37-50-62-75-100-125-200 umから選択
焦点距離 70 mm
F値 F/2.3 (NA:0.22)
波長精度 0.5 nm以下
迷光 0.1%以下

検出器仕様

  VS70 JY VS70 MC VS70-CCD-HS VS70-CCD-HD VS70-PDA
画素数 2048 x70
画素
サイズ
14 x 14um
受光面
サイズ
28.7 x 1 mm
量子効率(QE) > 75%  (450-700nmの範囲で)
冷却
温度
非冷却 非冷却 冷却(5℃) 非冷却 非冷却 非冷却
飽和
電荷量
300,000 e¯/pixel > 235,000 e¯ (typical) >235,000 e¯ (typical) > 200,000 e¯/pixel 高感度モード: 250,000e¯
高フルウェルモード: 390,000e¯
100 Me¯ (1 Ge¯ optional)
読み出し
ノイズ
50 e- 30 e- (typical);
35 e- (maximum)
30 e- (typical);
 35 e- (maximum)
35 e¯(maximum = 45 e¯) RMS 高感度モード: 35 e¯
高フルウェルモード: 70 e¯
3900 e¯
(Max 5250 e¯)
ADC
分解能
16-bit
ダイナミック
レンジ
6,000:1 7,800:1 7,800:1 6,000:1 高感度モード: 7,000:1
高フルウェルモード: 5,500:1
26,000:1
非線形性 <0.4% (corrected)
暗電流 50 e-/pix/s (typical);
500 e-/pix/s (maximum)
(@25°C)
50 e-/pix/s (typical);
500 e-/pix/s (maximum)
(@25°C)
7 e-/pix/s (typical);
70 e-/pix/s (maximum)
(@5°C)
50 e-/pix/s (typical);
500 e-/pix/s (maximum)
(@25°C)
50 e-/pix/s (typical);
500 e-/pix/s (maximum)
(@25°C)
200ke-/pix/s  (@25°C)
通信インタフェース Ethernet, UART, USB, SPI, I2C USB 2, Ethernet and EtherCAT USB 2.0 high and full-speed USB 2.0 high and full-speed USB 2.0 high and full-speed
周囲温湿度範囲 動作温度: +15℃~ 40℃;  相対湿度 <70% (結露なきこと);
保管温度: -20℃ ~ 45℃

 

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