EtherCAT対応小型分光器 VS-70 MC

概要

EitherCAT、Ethernet, USBが接続可能な小型分光器です。自社設計、自社製の凹面回折格子を搭載した分光器で、迷光や収差の小さい光学系を実現しています。200 nm-900 nm の波長範囲で、高感度・高分解能設計のため、半導体プラズマモニタ、ウェハ検査用にも使用可能です。他の波長範囲ご希望の方もご相談ください。

特長

  • マルチインターフェース(USB2, Ethernet, EtherCAT )
  • 高分解能、高スループット
  • 均一なスペクトル応答
  • 広い波長範囲 紫外から近赤外まで
  • 高SN比、高ダイナミックレンジ
  • 高スループットかつ低迷光
  • インターフェース:USB2 Ethernet, EtherCAT

アプリケーション

  • 半導体プラズマモニタ
  • Optical Emission Spectrometry
  • 蛍光
  • 吸収測定
  • 反射測定
  • ライフサイエンス
  • プロセスモニタリング

※本製品はOEM製品です。貴社装置への搭載にご興味がありましたら、遠慮なくお問い合わせください。量産化に向けた試作機の提供、デモ機の貸出しについてのご相談承ります。


製造会社: HORIBA Scientific

仕様

分光器仕様

 

波長範囲

200nm -910nm 

入力

FC /SMA/ 他のコネクタはご相談ください

波長分解能

2 nm

波長分散

25.2nm/mm 

焦点距離

70 mm

F値

F/2.3

迷光

< 0.4% (typical)

波長精度

0.4 nm

検出器仕様

 

CCD 非冷却

CCD 冷却

画素数

2048 x 70

CMOS画素サイズ

14 μm x 14 μm

検出エリア

28.7 mm x 1 mm

量子効率

75%  for 450-700 nm

センサー温度

非冷却

5℃

飽和電荷容量

200 ke- (min)
235 ke- (typ)

通信インタフェース

USB 2.0 HS, Ethernet(10/100) or EtherCAT

スペクトルレート

770 spectra/s

読み出しノイズ

30 e- (typ) 

AD変換

16-bit 

ダイナミックレンジ

7,800:1 (typ)

最大S/N比

447:1  (min)
485:1 (typ)

暗電流

50 e- /pixel/s (typ)

7 e- /pixel/s (typ)

非線形性

< 0.4%  (補正後)

コミュニケーションモード

・Eithernet/EtherCAT/USB2.0
・Ethernet & EtherCAT (同時)

周囲温湿度

動作周囲温度15~40℃
相対温度<85%(結露なし)
保管温度-25~45℃

電源

24VDC @ 0.36A (typical) 3 -Pin M8 Connector
9-PIN DB9 Connector

ソフトウェア

専用デモソフトウェアでご評価いただけます。
DLL提供もいたします。

 

 

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