分光エリプソメータでは、自然酸化膜の膜厚、エッチングにおいて生じる表面ラフネス、界面の状態、薄膜の結晶性、薄膜の粗密、膜の均一性など、単層、多層に関わらず、膜に関する多くの情報を得ることが可能です。
Si基板上に成膜されたSiO₂超薄膜の膜質を改良するために処理を施すことがありますが、UVISEL Plusではその処理前後のわずかな膜厚・膜質の違いを識別できます。
処理することにより数Åの膜厚の変化とわずかな屈折率の変化を確認。この処理により膜厚の減少が確認でき、また屈折率の増加から膜が緻密になったことが予想されます。
Si基板上のSiO₂薄膜は、成膜開始時から膜質が途中で変化してしまうことがあります。UVISEL Plusではその違いを 屈折率の違いから評価できます。
容易に液中の高分子薄膜の膨潤の評価ができます。
チャンバ外部から光を照射し、試料の反射光をチャンバ外で検出することにより試料を大気中に出さずに薄膜を評価できます。
分光エリプソメーター
