応力分析

3Dイメージングから活性ゾーンの端にある浅いトレンチ（溝）に機械的応力が作用していることがわかりました。

Siにかかる応力とラマンピークシフトには線形的な相関があります。
_{M.Komatsubara,T.Namzu,Y.Nagai,S.Inoue,N.Naka,S.Kashiwagi,K.Ohtsuki :Jph.J.Appl.phys.48(2009)04C021}

カソードルミネッセンス（CL）イメージの欠陥の位置とピークシフト変化の位置が一致することから、CLイメージで見えないウェハ内部の欠陥もラマンピークシフトから予想できます。

Siバンド強度が強い（＝膜厚が厚い）部分に応力が集中することが判明しました。

Tip in時のスペクトルをピーク分離したところ、Siピーク（520.48cm^-1）からシフトしたピークが検出され、応力（歪み）が存在することが推定できます。