紫外分光は、半導体(プラズマモニタ、メトトロジ)、プロセスモニタ、品質管理等のアプレーションで必要とされています。 以下は、紫外・可視や真空紫外の波長領域で感度をもつ、小型分光器、高性能分光器のリストになります。 お客様のご要望に合わせたカスタマイズも提案いたしますのでお問い合わせください。
貴社装置に搭載可能な小型分光器です。将来の量産に向けた試作機として少量台数のご提供もいたします。
※1:波長分解能は目安の数値です。波長やスリット位置により変わります。詳細は各分光器のページからお問い合わせください。
※2:VU90は特殊仕様でVIS-NIRまで波長範囲を広げることが可能です。詳細についてはお問い合わせください。
基礎研究や品質管理に最適な分光器です。ご要望の波長範囲において、高分解能・低迷光な優れたスペクトルを安定して取得できます。 世界中でたくさんの研究者や企業に使われています。
※1:紫外域で感度をもつグレーティングを多種用意しております。ご希望の波長範囲と分解能に合わせ最適な選択・組み合わせが可能です。
※2:波長分解能は目安の値です。グレーティングの溝本数や、スリット幅、検出器のピクセルサイズによって変わります。波長範囲、スループット、検出速度とのトレードオフになります。 表中の数値は溝本数1200本、300nmでの分解能です。
超小型分光器
コンパクト分光器
真空紫外小型分光器
高スループット
ハイパースペクトルカメラ用分光器
マルチチャネル分光器 M116/M135分光器
ハイパースペクトルカメラ用分光器
4チャネル分光器
モノクロメータ/スペクトログラフ MicroHR
イメージングスペクトロメータ iHR320/iHR550
大型分光器FHR1000
分光器Mシリーズ