欠陥評価

1台の装置でPLスペクトル、PL寿命を取得することができ、多角的な評価が可能です。

3インチInGaPウェハの全面高速欠陥評価

10000点以上のPL情報を数分で取得。ピーク波長分布をヒストグラムで表記。

GaNウェハの欠陥分類評価

CL image 1では混合（刃状と螺旋）転位を、CL image 6では刃状転位を観察。 このように、波長による強度イメージを三次元表示することで、欠陥種の評価が可能です。

定常PLスペクトルと時間分解測定による同一エリアの分析

時間分解測定なら、定常PLスペクトルでは読み取れない僅かな発光成分の違いを読み取ることができます。

次世代半導体材料である二次元材料の微小領域の結晶性、層数などを分析できます。

GaAsウェハをカソードルミネッセンス（CL）でスペクトル分析し、発光に寄与する準位ごとのピークを確認しました。 そのピークごとのCL像を取得した結果、カーボン、銅が点在していることを確認できました。