真空紫外小型分光器 VU-90

概要

HORIBAは自社製グレーティングを採用した、小型の真空紫外分光器を提供します。検出器も自社製品で、特別な表面処理をしたCCDを採用しており、波長範囲は115 nmから感度を有します。また、分光器内は光の吸収を抑えるために窒素雰囲気か真空に、散乱による迷光を抑えるためのブラックコーティングがされています。他の分光器と組み合わせることで、真空紫外域を含む広波長範囲の分光器が実現します。

特長

  • 超小型真空紫外分光器
  • 波長範囲:115nm-320nm、(他の分光器との組みあわせで近赤外まで可能)
  • HORIBA製凹面グレーティング、検出器を搭載した、高スループットかつ低迷光
  • 冷却CCD搭載で高感度システム化可能
  • 高波長分解能:0.5nm

アプリケーション

  • プラズマモニタ
  • 蛍光
  • ガス分析
  • 環境モニタ
  • ウェハ検査
  • 食品安全管理

 

※本製品はOEM製品です。貴社装置への搭載にご興味がありましたら、遠慮なくお問い合わせください。量産化に向けた試作機の提供、デモ機の貸出しについてのご相談承ります。


製造会社: HORIBA Scientific

仕様

分光器仕様

波長範囲

115nm-320nm (高次カットフィルタは使用不可)

波長分解能

0.5nm (22um ピンホール)、 0.75nm (40um ピンホール)

波長分散

34.6nm/mm,  0.38nm/pixel

焦点距離

90 mm

コーティング

フッ化マグネシウム (グレーティングとミラーに)

分光器内雰囲気

真空(10-6Torr) もしくは窒素雰囲気

F値

F/10



検出器仕様

画素数

2048 x70

画素サイズ

14 umx 14um

受光面高さ

 1 mm

量子効率(QE)

下記参照

窓なし、もしくはフッ化マグネシウム窓

冷却温度

-45℃(真空、周囲温度25℃)、-25℃(窒素パージ、周囲温度25℃)

飽和電荷量

500,000 e¯/pixel

サンプリング速度

45kHz or 500kHz

スペクトルレート

20Hz (45kHzサンプリング)、189Hz (500kHzサンプリング)

読み出しノイズ

10e- (45kHzサンプリング)、20e-(500kHzサンプリング)

ADC分解能

16-bit

ダイナミックレンジ

50,000:1

非線形性

<0.2%

暗電流

0.1 e-/pixel/s  (@-45° C)

通信インタフェース

USB 2, Ethernet and EtherCAT

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