蛍光X線分析 (XRF)
X線分析顕微鏡
X線分析顕微鏡は、X線ガイドチューブを用い微小領域を分析できる顕微鏡タイプの蛍光X線分析装置です。HORIBA独自のX線集光素子を使った､細くて強度の高いX線ビーム方式を採用し、X線コリメータを使った従来の方式に比べ微小部の高速測定が可能です｡XGTは、検出器側を真空状態にしながらも試料室は大気環境を保てる特殊な機構により、サンプル形態を問わず分析できます。真空状態で分析が難しい粉体、液体、含水試料などもそのまま前処理不要で分析でき、様々な試料の元素分析に対応できます。
X線分析顕微鏡の原理
試料にX線を照射し、試料から発生してきた蛍光X線スペクトルは、元素固有であることから蛍光X線の発生エネルギーとX線強度を用いて試料の定性分析と定量分析を行います。固体、液体、粉体の定性、定量分析が、非破壊で行なえます。
