微小部X線分析装置 XGT-9000

概要

高感度化と新イメージング技術で、前処理不要・非破壊の簡単元素分析!

 

高感度・高速マッピング - 分析時間短縮に貢献

強度を損なわず微小なスポットでも高速マッピングが可能です。また、高輝度であるため、ノイズの少ない鮮明なマッピング像が取得できます。

 

クリアな光学像 
- 全体像から測定ポイントに迅速アクセス

詳細像カメラは、高精細な光学像観察が可能です。焦点位置を簡単に調整でき、微小な領域においても測定ポイントに迅速にアクセスできます。「同軸照明」「周囲照明」「透過光照明」の3種類の照明を組み合わせることで、凹凸のある試料や鏡面試料も鮮明に観察できます。

 

新イメージング技術  - 充実の画像解析ソフト

ピーク分離マップや特定元素の強調表示、画像重ね合わせなど画像解析ツールが充実しています。画像処理による強調表示を活用すれば異物を迅速に検出できます。高輝度X線とイメージング技術の組み合わせで一連の異物分析をこれ一台で完結でき、数十μmサイズまでの異物分析が可能となりました。

 

広範囲の元素検出 
- C : 炭素(6)からAm : アメリシウム(95)まで

分析の範囲が広がりました。ポリマー、鉱物、美術品、セラミックスなど、多彩な分野の分析が可能です。
※軽元素検出オプション搭載時

バラエティ豊かなX 線プローブ  - 試料に合わせた分析

試料のサイズに合わせて最適なプローブを選択できます。適切なプローブを用いることで、微小部位の高分解能分析や試料表面の高速分析を可能にします。

動画

<微小部X線分析装置 XGT-9000のご紹介>
クリアな光学像、高輝度X線、充実の画像ソフトといった製品特徴と一連の測定手順を動画でご紹介いたします。


製造会社: HORIBA

仕様

基本情報

測定原理

エネルギー分散型蛍光X線分析法

検出可能元素

Na(11)~ Am(95)
C(6)~ Am(95)(オプション)

最大試料サイズ[W x D x H]

300 x 250 x 80 mm

ステージ可動範囲[W x D x H]

100 x 200 x 20 mm

光学像

全体像 / 詳細像

詳細像観察 / X線分析箇所

同軸

X線管

管電圧

15 kV, 30 kV, 50 kV

管電流

最大 1 mA

ターゲット材

Rh

光学素子

キャピラリ搭載数

3

検出器

蛍光X線検出器

液体窒素レス検出器(SDD)

透過X線検出器(透過X線像)

マッピング

マッピング領域

100 x 100 mm(最大)

画素数

4 種切り替え

光学カメラ(詳細観察像)

視野角

2.5 x 2.5 mm

光学分解能

<10 μ m

焦点距離(WD)

1 - 10 mmの間で可変

照明

周囲、同軸、透過光照明

その他

真空引き範囲

試料室全体 /光学系のみ真空

  • XGT シリーズのご使用に際しましては、電離放射線障害防止規則に基づいて、設置の30 日前までに所轄の労働基準監督署への届出が必要です。
  • 漏洩X 線実効線量率限度並びにその測定方法は、JAIMAS-0101-2001 に適合しています。

 

 

外形寸法図・他(単位:mm)

アプリケーション

 

電池:セパレータフィルム上の異物

異物の検出・元素組成分析を行うことで、異物の発生源を推定できます。目視では確認できない埋没した異物や微小異物も高輝度X線とイメージング技術で検出可能になります。また、粒子検出機能により、粒子数や粒子サイズを求めたり、取得した粒子の座標位置から詳細分析を行うこともできます。



生体試料:元素分布測定

生体試料研究において重要な元素分布情報を取得できます。試料内に水分やガスを保持した生体試料は、真空環境下でX線による測定ができませんが、XGT独自の部分真空モードを使用することで、水分やガスを含む試料も測定が可能です。さらに、ヘリウムパージ※を用いることにより、生体試料でも軽元素分析が可能です。
※ヘリウムパージオプション搭載時



金属材料:腐食・汚染部位の表面解析

材料分析において重要な元素分布情報を、非破壊で取得できます。SEM-EDXとは異なり、前処理不要で大きな試料をそのまま分析でき、カーボンや金属コーティング処理をしていない非導電性試料の分析も可能です。酸素の検出が可能なため、腐食かどうかの判別ができます。※軽元素検出オプション搭載時

電子部品:故障解析、RoHS 指令

蛍光X線像と透過X線像を同時に取得することで、故障原因となる電子部品内部の欠陥や異物を発見できます。また、RoHS指令対象物質のスクリーニング用途として、規制元素の定性・定量が可能で、専用ソフトウェアを用いることで有害元素の合否判定結果も表示できます。

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