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本研究では非破壊・非接触で評価できる分光エリプソメトリーとラマン分光法を用いて、色素増感太陽電池素子の膜厚、粒子の大きさ、空孔の比率の評価を行った。


最近のrf-GD-OESは、低速スパッタリング制御が可能であるパルススパッタユニットが搭載されているため、サブnmオーダーの深さ分解能を有しています。このようなGD-OESを、pulse-GD-OESと呼んだりもしますが、これを用いると、化合物半導体の量子井戸構造(MQW : Multi Quantum Well)の成膜評価などを行うことができます。


  • 太陽電池用多結晶Siの結晶粒界のうち、特に変換効率を下げる小角粒界(亜粒界)の電気的・光学的性質を、EBICとカソードルミネッセンスを用いて明らかにした。

  • 高純度シリコン中炭素分析

  • 高純度シリコン中酸素分析

  • 分光エリプソメーターによる薄膜太陽電池の評価・実例

  • 分光エリプソメーターによる太陽電池デバイス特性評価(本文は英文です)

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