昨今半導体業界をはじめ表面分析の求められる精度はどんどん高まっており、空間分解能・深さ分解能だけでなく、得たい情報の種類も多角化が 進んでいます。今回HORIBAが所有する数々の分析技術と日本電子の電子顕微鏡を用いた最新の分析技術を用いて、これらのご要望にお応えする ソリューションを紹介します。またこの2社の技術を融合し、半導体材料分析を中心に数々の課題を解決されてきた株式会社東レリサーチセンター 専務取締役 シニアフェロー 研究部門長 吉川正信様にもご講演いただき、より実践に近い分析事例を紹介いたします。 表面分析について課題解決を探る方必見のウェビナーです。皆様のご参加をお待ちしております。



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講演内容


【招待講演】 STEM, NanoSIMS,ラマン分光法を用いたパワー半導体材料評価


㈱東レリサーチセンター(TRC)は、高度な分析技術で社会に貢献するという基本理念に基づき、日本でもトップクラスの分析支援会社の一つです。 競合他社に先駆けて最先端の分析装置を導入し、前処理・測定・解析技術を開発してきた。近年は、最先端分析装置の開発にも取り組んでいます。 本講演では、最近、TRCが独自に開発しているSTEM, NanoSIMS,ラマン分光法等の最先端分析技術及び装置を用いたパワー半導体関連材料に関する最新の分析事例を紹介します。



株式会社東レリサーチセンター 専務取締役 シニアフェロー 研究部門長 吉川 正信様

いろいろあるよ!HORIBAの表面分析技術


迅速深さ方向表面分析装置として認知度を得てきたGD-OESの水素(H)やリチウム(Li)などの軽元素分析や有機材料分析はじめ、高感度化したGD-TOF-MS技術を紹介します。 また、Raman・フォトルミネッセンス・分光エリプソメータなど分光技術を用いた多彩な表面分析手法による結晶性・応力・欠陥・膜質など表面特性評価ついても紹介します。



株式会社堀場製作所 Marketing innovation office 林 絹美

新型高分解能走査電子顕微鏡のご紹介/電位コントラスト観察の条件設定


半導体不良解析における走査電子顕微鏡(SEM)の役割は形態観察、元素分析、結晶構造の同定など多彩です。この中で、特に要望が多い傾斜した試料の表面や断面観察、電位コントラスト(Voltage contrast: VC)観察を目的として開発した新型FE-SEM について紹介します。さらに応用実例としてVC 観察の条件設定とAr イオンを用いたVC観察用試料前処理について紹介します。



日本電子株式会社 EP事業ユニット EPアプリケーション部 SEMG 朝比奈 俊輔/浅野 奈津子

こんなのあるよ!HORIBAの表面分析便利ツール


2つの分析装置・観察装置同士で位置合わせ・座標共有することが正しい分析・解析には重要です。 それをナノメーターオーダーで対応できる新技術「Nano GPS」について紹介します。 また、粒子・粉体のSEM観察・測定において、試料のサンプリングを制御する「Particle Disperser」。 HORIBAの粒子制御・真空技術を応用した分散制御装置、そのアプリケーションを紹介します。



株式会社堀場製作所 科学事業戦略室 森 哲也

ハイスループット解析電子顕微鏡 JEM-ACE200Fのご紹介


JEM-ACE200Fでは、収差補正もしくは汎用FE-TEM、JEM-ARM200FやJEM-F200の最新ハードウェアテクノロジーを統合し、高安定、高分解能、高精度を実現しました。また、半導体TEMのニーズに沿ったソフトウェア、操作系を合わせて、使いやすさの向上も図りました。本講演ではこの装置の特長を簡単にご紹介させていただきます。



日本電子株式会社 SI営業本部 SI技術販促1G 遠藤 徳明


開催概要


日程 (第1 回) 2021 年9 月27 日(月) 13:00 -15:20 / (第2 回) 2021 年9 月30 日(木) 9:30 -11:50
開催形式 オンライン形式(Go to Webinar システム利用)
参加費 無料
定員 各回 500名 *定員になり次第お申し込みを締め切らせていただきます。


プログラムおよび講演予定者


第1回

第2回

講演タイトルおよび講演予定者(両日)

13:00-13:05

9:30-9:35

開会のご挨拶

13:05-13:10

9:35-9:40

Go To Webinar システム説明

13:10-13:50

9:40-10:20

【招待講演】 STEM, NanoSIMS,ラマン分光法を用いたパワー半導体材料評価

株式会社東レリサーチセンター 専務取締役 シニアフェロー 研究部門長 吉川 正信様

13:50-14:20

10:20-10:50

いろいろあるよ!HORIBAの表面分析技術

株式会社堀場製作所 Marketing innovation office 林 絹美

14:20-14:50

10:50-11:20

新型高分解能走査顕微鏡のご紹介/電位コントラスト観察の条件設定

日本電子株式会社 EP事業ユニット EPアプリケーション部 SEMG
朝比奈 俊輔/浅野 奈津子

14:50-15:05

11:20-11:35

こんなのあるよ!HORIBAの表面分析便利ツール

株式会社堀場製作所 科学事業戦略室 森 哲也

15:05-15:20

11:35-11:50

ハイスループット解析電子顕微鏡 JEM-ACE200Fのご紹介

日本電子株式会社 SI営業本部 SI技術販促1G 遠藤 徳明

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堀場製作所 マーケティングコミュニケーション部  E-mail: scientific-event.hor@horiba.com