お問い合わせ
拠点情報
顕微ラマン分光測定装置
深紫外~近赤外領域における高いスペクトル分解能を継承するとともに、サブミクロンスケールの空間分解能、オートメーション機能ならびに各種ソフトウェアのレパートリーを強化したHORIBA最高峰の顕微ラマン分光装置です。また座標共有システムnanoGPSを使用することにより、異なる顕微分析装置において試料の同一箇所を迅速かつ容易に分析が可能となります。
焦点距離の長い分光器を使用すれば、近接するピークをはっきりと見分けることができます。また、わずかなピークシフトの測定も可能です。特に半導体や医薬品の分野において、高波数分解能の測定が求められるケースが数多くあります。
SWIFT™超高速ラマンイメージング機能により、詳細なラマンイメージを秒/分のタイムスケールで取得できます。また全画面共焦点性能を保持しているため、微粒子など凹凸のある試料の分析に最適な空間分解能でのラマンイメージングが可能です。
半導体デバイス上パターンのラマンイメージ (50秒以内に40,200スペクトルを取得)
高速ミラースキャン機構 DuoScanTM XYステージの感覚でポイントごとの測定を行うステッピングモードと、矩形領域の平均スペクトルを収集するマクロマッピングモードの2種類の測定を実現。共焦点性を保ったまま高速にスキャンするため、空間分解能もスペクトル分解能も損なわずに高速ラマンイメージングを実現します。
▶関連アプリケーションはこちら
* 項目は必ずご記入ください。
Raman Accessory for Imaging