LabRAM Odyssey

顕微ラマン分光測定装置

HORIBA顕微ラマン のフラッグシップ機!

深紫外~近赤外領域における高いスペクトル分解能を継承するとともに、サブミクロンスケールの空間分解能、オートメーション機能ならびに各種ソフトウェアのレパートリーを強化したHORIBA最高峰の顕微ラマン分光装置です。また座標共有システムnanoGPSを使用することにより、異なる顕微分析装置において試料の同一箇所を迅速かつ容易に分析が可能となります。

事業セグメント: 科学
製造会社: HORIBA France SAS
  1. 広い対応波長範囲

    深紫外から近赤外まで 広い測定波長域 200nm~2100nm

    1064nmレーザーを用いた際のポリイミドのラマンスペクトル ⇒蛍光の影響で可視領域のレーザーでは確認が難しかったラマンピークを確認
  2. 高波数分解能

    焦点距離 800mm:高いスペクトル分解能を実現する高性能大型分光器を採用

    <高波数分解能の効果>

    LabRAM Odysseyは高い波数分解能を持ち、近接したピークの判別や、応力や構造変化によるわずかなピークシフトの検出に優れています。

    ◆分光器の焦点距離による、ピーク形状の違い

    焦点距離の長い分光器を使用すれば、近接するピークをはっきりと見分けることができます。また、わずかなピークシフトの測定も可能です。特に半導体や医薬品の分野において、高波数分解能の測定が求められるケースが数多くあります。

  3. 高空間分解能

    0.5 μm以下の高空間分解能を実現

    ピエゾステージや高精度ステージを使用し、ステップ幅を精度良くコントロールすることにより、ラマンイメージングデータの画質を向上できます。
  4. 高速イメージング

    • 超高速イメージング機構 SWIFTTM

      SWIFT™超高速ラマンイメージング機能により、詳細なラマンイメージを秒/分のタイムスケールで取得できます。また全画面共焦点性能を保持しているため、微粒子など凹凸のある試料の分析に最適な空間分解能でのラマンイメージングが可能です。

      半導体デバイス上パターンのラマンイメージ
      (50秒以内に40,200スペクトルを取得)

    • 高速ミラースキャン機構 DuoScanTM
      XYステージの感覚でポイントごとの測定を行うステッピングモードと、矩形領域の平均スペクトルを収集するマクロマッピングモードの2種類の測定を実現。共焦点性を保ったまま高速にスキャンするため、空間分解能もスペクトル分解能も損なわずに高速ラマンイメージングを実現します。

  5. 超低波数測定

    • 超低波数測定モジュールULF:10 cm-1以下の波数領域までラマンスペクトルが測定可能

      超低波数モジュールULFは、10 cm-1以下の超低波数領域からの測定が可能になります。さらに、ストークスおよびアンチストークスのラマンスペクトルを同時に測定できます。超低波数ラマンスペクトルは、医薬品の結晶多形、カーボンナノチューブ、重金属のハロゲン化物、半導体など、さまざまなサンプルの有効な情報を取得することができます。
  6. 高い拡張性

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顕微ラマン分光測定装置 LabRAM Odyssey 仕様
波長レンジ深紫外~近赤外200 ~ 2,100 nm(光学系の変更不要、色収差なし)
分光器ツェルニターナー型焦点距離:80 cm
レーザー最大6レーザーの自動切替266 nm, 325 nm, 355 nm, 405 nm, 458 nm, 473 nm, 532 nm, 633 nm, 660 nm, 785 nm, 1064 nm など(その他の波長は別途ご相談ください)
グレーティング最適なスペクトル分解能に応じて選択(100 ~ 3600 gr/mm)
波数分解能(FWHM)@ 244 nm 励起波長  1.5 cm-1(グレーティング 3600 gr/mm使用時)
@ 532 nm 励起波長  0.6 cm-1 (グレーティング 1800 gr/mm使用時)、0.3 cm-1(グレーティング 3000 gr/mm使用時)
@ 633 nm 励起波長  0.4 cm-1(グレーティング 1800 gr/mm使用時)、0.2 cm-1 (グレーティング 2400 gr/mm使用時)
@ 785 nm 励起波長  0.2 cm-1(グレーティング 1800 gr/mm使用時)
測定波数範囲50 cm-1 (532, 633, 785 nmレーザー使用時)(10 cm-1 ~:ULF使用時)
自動キャリブレーション機能スペクトル強度と波数範囲の自動校正
VRM :顕微鏡・ラマンイメージの位置ずれ補正
VRM OA:対物レンズ間の中心位置ずれ補正
高速ラマンイメージングSWIFT™標準でSWIFTTM イメージング、反復イメージング、および XR 高スペクトル解像度の3つの機能を搭載。SWIFTTM XS 高速イメージングには、オプションの EMCCD 検出器が必要
他の分析装置との統合原子間力顕微鏡(AFM)同一測定点でAFM・ラマン測定
他の顕微装置との座標共有特許取得済みのnanoGPSやnavYXTMと互換性
サイズ W x D x H (mm)1300 x 1194 x 473奥行はXYステージとレーザーベンチ(オプション)に依存。この値は100 x 100 mm ステージ
およびレーザー ベンチ クラス IIIb システム(オプションの CDRH なし)での値
重さ約100 kg仕様に依存
安全性クラスIIIbCDRH使用時はクラス1対応

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