R-CLUE

カソードルミネッセンス(CL)測定装置

R-CLUE は、ラマン、フォトルミネッセンス、カソードルミネッセンスのイメージングと分光分析に対応する、SEM用のファイバカップリング型多機能Raman-PL-CLアドオンソリューションです。R-CLUEは、HORIBAのラマン分光およびPL分光のノウハウを生かし、実績のある光学コンポーネントを使用しており、高い再現性・集光率を実現しています。電子顕微鏡のチャンバーに装着できるコンパクトなモジュールと、分離型の分光モジュールにより、さまざまな電子顕微鏡への搭載に対応します。

R-CLUE は、格納式放物面ミラーの位置決め、レイリーフィルターの交換、グレーティングと検出器の選択をコンピュータで制御するため、装置の専門知識がなくても簡便に操作、測定を行うことができます。搭載するソフトウェアLabSpec 6は、ピークフィット、粒子解析、モザイク、多変量解析、多彩な3D表示などの機能で、データ解析をサポートします。

事業セグメント: 科学
製造会社: HORIBA, Ltd.HORIBA France SAS

ファイバカップリング多機能SEM-Raman-PL-CLアドオン検出器の特長

    • 既設のラマン顕微鏡をアップグレード可能
    • 電子顕微鏡向けイメージング&分光器、マルチレーザー、マルチ検出器ラマン、PLおよびCLアドオン
    • さまざまな焦点距離分光器に対応
    • 電子冷却オープンエレクトロードCCD検出器(200 - 1100nm)
    • LabSpec 6ソフトウェアによる装置制御、測定、データ処理
    • 精密な位置決め調整が可能な電動調整機構
    スペクトル範囲UV-VISまたはVIS-NIRファイバーに依存
    ダイヤモンド回転式コレクションミラーパラボラアンテナ
    ショート&ロングワーキングディスタンス
    200mm リトラクタブルインターフェース真空下での微調整が可能な電動式
    CL画像検出器標準:アンビエントPMT搭載のパンクロマチックおよびモノクロマチックCL
    オプション:冷却型PMT、IGAモノチャンネル、フォトンカウンティングPMT、時間分解型PMT、RGBフィルター
    CL分光器タイプiHR 320、iHR 550(焦点距離320〜550 mm)、最大3つのグレーティングタレット、2入口/2出口
    可能なアップグレードLabRAM HRシリーズからのアップグレード
    電子ビーム制御CL-LINKによる複数データ取得処理(アナログ、パルスモード、SE)、マッピングラインスキャン、ポイント計測、分光検出との同期、電子顕微鏡の外部スキャン入力制御
    点測定、分光検出との同期、電子顕微鏡の外部スキャン入力による制御など

    ソフトウェア

    LabSpec 6™ による分光と画像処理
    リモートコントローラーオプション
    CLUE アクセサリー偏光、NDフィルター、カメラ、EMCCDなど

    SEM アクセサリー

    LN2、Heクライオステージ、EBIC検出器、およびCLUEシリーズアドオン検出器を補完するその他の多くのアクセサリ
    Defect Evaluation of GaN Epitaxial Wafer by CL
    Defect Evaluation of GaN Epitaxial Wafer by CL
    The threading dislocation occurs easily in GaN crystal grown on sapphire substrates. It is said that this is caused by the large lattice mismatch of sapphire and GaN. The crystal may seem to be uniform in the SEM image, but the dark spot such as the threading dislocation can be observed when measuring the CL intensity image at the wavelength (362nm) which corresponds to the band edge emission.
    Luminescent Defects in Synthetic CVD Diamond Films Localized by Cathodoluminescence Spectroscopy
    Luminescent Defects in Synthetic CVD Diamond Films Localized by Cathodoluminescence Spectroscopy
    The characterization of synthetic CVD diamond material by hyperspectral cathodoluminescence spectroscopy and imaging allows the detection and accurate location of the promising NV luminescent point defects for innovative solid-state quantum mechanical systems. In this work we performed CVD epitaxial growth on a pattern of micro-pillars etched on a diamond substrate. Cathodoluminescence (CL) analysis revealed that NV centres were successfully localized at the edges of the pillars.
    The Evaluation of Phosphor for White LEDs by CL Image
    The Evaluation of Phosphor for White LEDs by CL Image
    Phosphor plays a key role to obtain white light as for blue LED + phosphor and near ultraviolet LED + phosphors. In order to improve high bright white LEDs, it is necessary that the whole phosphor particle emits light homogeneously. When measuring with CL the phosphor used as white LED, the area which does not emit light in phosphor particle can be observed. CL system is used for evaluation of non-luminescent area to improve luminescent efficiency and characteristics.

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