製品ラインアップ

研究・開発向け

生産管理向け

分光エリプソメーター

可視分光エリプソメーター

UVISEL Plus

Smart SE

Auto SE

主な特長：

• 位相変調方式を採用した高精度測定
• 広い波長域にて高S/N比を実現
  （高感度測定）
• 高い波長分解能による厚膜測定

主な特長：

• 高感度CCDによる高速測定
• マイクロスポット
• ビジョンシステム
• 自動XYZステージ(マッピング測定)
• 測定～解析～結果出力を自動化