GaN量産化のための技術開発におけるNa試料中の酸素・窒素・水素の定量分析

次世代半導体として注目を集める一つに GaN があります。GaN の結晶成長には、大きなバ ルク結晶を気体の中で徐々に成長させて作る気相法と溶液成長の液相法があり、液相法の Naフラックス法が、他の手法と比べて低温低圧で高品質な大型の結晶を成長できる手法として研究されています。


銅中の微量酸素分析

無酸素銅(OFC:Oxygen-Free Copper)やタフピッチ銅(TPC:Tough-Pitch Copper)などに代表される酸化物を含まない 99.95%(3N)以上の高純度な銅材料は、高級音響機器や 電子機器、信号ケーブル等に使用されています。


シリコンウェハ中の不純物(酸素)の定量分析

シリコンウェハ中の酸素濃度は電気抵抗値に影響を与えるため、シリコンウェハ表面に含まれる極めて微量な酸素の濃度管理が必要です。FT-IR を用いた分析法が各種規格でありますが、ウェハ製造技術の進歩により、より低濃度な酸素濃度 (10ppm 以下)の分析が求められています。


鉄鋼板上のめっき皮膜中酸素分析

鉄鋼板上にめっきをしており、めっきの色などの特性に酸素濃度が影響することが分かっているため、濃度をコントロールする必要があります。