GD-OESによる有機系皮膜の測定例：塗装皮膜

自動車用の電着塗装皮膜は有機皮膜で形成されており、測定途中で試料が熱ダメージを受ける場合がありますが、熱緩和方式の低速スパッタユニットを搭載しているのでスパッタ時の熱を緩和しながら測定が可能です。有機皮膜試料が熱ダメージを受けず分析できた事例を紹介します。