GD-OESによる単分子膜の分析

エネルギーの低いAr＋スパッタリングは、試料への照射エネルギーが低く、最表面における高分解能な測定が可能です。本資料では銅表面に単分子膜を形成した試料をnmレベルで深さ方向元素分析した事例を紹介します。