GD-OESによるハードディスク測定②

Al基板上にNiPメッキ、Cr・Co磁性膜、DLC膜を施したハードディスク基板表面から10 μmの深さ方向定量分析結果を、GD-Profiler2とSEM-EDXとで比較した事例を紹介します。