GD-OESによる非導電性試料測定例：ガラス基板上薄膜

モバイルPC用ガラス基板ハードディスクは超平滑なガラス基板上にナノメートルオーダーの磁性膜が多層積層されています。ガラスのような非導電性基板のGD-OES法での迅速深さ方向元素分析事例を紹介します。