Surface Cleaningによる水素測定の改善

GD-OES法は、水素を分析することができるというユニークな特長を有していますが、表面付近の水素分析はテーリングが発生する場合があり、正確な水素分析を妨害します。そのため、Surface Cleaningの機能を用いて、このテーリング影響を除去し、正確な水素の測定を行った事例を紹介します。