GD-OESによる化合物半導体の評価

多層膜が設計通りの元素比で成膜されているかは、LED の性能に影響を及ぼす一つのパラメータです。ナノオーダーで成膜された多層膜の成膜状態を確認するためにもナノオーダーで元素分布を確認することが求められます。本アプリケーションでは化合物半導体の量子井戸構造（MQW : Multi Quantum Well）の成膜評価事例を紹介します。