分光エリプソメーター UVISEL Plus

 

紫外域~近赤外域まで対応のR&D向け高精度分光エリプソメーター

先端研究の薄膜・表面・界面の特性評価のために、UVISELシリーズは、モジュール式と性能面でベストな組み合わせを提供します。UVISELシリーズは、位相変調技術に基づき、紫外域190nmから近赤外域2100nmまでの広範囲な波長域をカバーしており、高精度・高分解能測定・素晴らしいS/N比で、全波長域に渡って高品質な測定データを採取することができます。

UVISELLシリーズは、...

自動薄膜計測装置 Auto SE

薄膜(膜厚)測定で、より簡単に最大の効果を

新しい膜厚測定ツールとして開発された"Auto SE"は、プッシュボタン感覚での薄膜サンプルの自動測定を可能としております。サンプル分析は厚い膜でもわずか数秒で実施でき、膜厚・屈折率・表面ラフネス・膜不均質性などを含む分析結果をレポート形式にて提供いたします。"Auto...

Smart SE

プッシュボタン感覚で、1nm~15μmの膜厚範囲の単層膜から多層膜までのサンプル測定が可能です。

研究・開発向け

生産管理向け

分光エリプソメーター

可視分光エリプソメーター

可視分光エリプソメータ Smart SE

自動薄膜計測装置 Auto SE

UVISEL Plus

Smart SE 

Auto SE 

主な特長:

  • 位相変調方式を採用した高精度測定
  • 広い波長域にて高S/N比を実現
    (高感度測定)
  • 高い波長分解能による厚膜測定

主な特長:

  • 高感度CCDによる高速測定
  • マイクロスポット
  • ビジョンシステム
  • 自動XYZステージ(マッピング測定)
  • 測定~解析~結果出力を自動化