GD-OESによるmmオーダの深さ方向元素分析例

GD-OES法は深さ100 μm程度までの分析が限界ですが、前処理を行い、分析回数を繰り返すことで、炭化処理をした鉄鋼試料について、5 mmという深さまで分析した事例を紹介します。