太陽電池

バンド端の計測

化合物半導体の太陽電池では薄膜の元素の組成比によってバンドギャップが変化するため、その評価が重要です。

不純物準位の評価

半導体の不純物準位はドープする不純物の種類、濃度によって変化します。発光スペクトル測定による発光波長からその不純物準位を見極め、不純物の種類、濃度を見積もることができます。

顕微レーザラマン分光測定装置 LabRAM HR Evolution

● 業界最高レベル*の応力分解能 （*2020年当社調べ）
● 12インチウェハまでマッピング対応可能
● 温調ホルダ使用可能 （試料サイズは別途ご相談）

分光エリプソメータ UVISEL Plus

● Åオーダの膜厚の光学定数評価
機械的動作を伴わない位相変調方式と温調機能により、振動などの影響を抑え、高いSN比で信頼性のある評価が可能です。
● 85 μmまでの膜厚評価（膜の状態に依存）
高い波長分解能と独自の光学系により、広いレンジの膜厚評価が可能です。

キャリア寿命計測

太陽電池において電子正孔対のキャリア寿命は、太陽電池の効率に大きく影響します。発光寿命測定によりそのキャリア寿命を計測できます。

蛍光寿命測定装置 DeltaFlex/DeltaPro

● 数ピコ秒から数秒までの発光寿命に対応
● 100 種類を超える光源、4 方向に拡張可能な大型試料室、複数の検出器の搭載
● 独自の光学系・検出器の採用により高いSN 比を実現

結晶性評価

ポリシリコン結晶性評価

薄膜太陽電池の製造ラインでは、μC-Siの結晶化率のモニタが必要不可欠になっています。

ラマン顕微鏡 XploRAシリーズ

● 明・暗視野、偏光、微分干渉などの観察機能
● 物質の化学組成の同定、分子構造の解析に最適
● 高速・多彩なオプションに対応

シリコン中不純物の高感度定量分析

微量不純物の定量評価　JIS H 0615準拠

シリコン中不純物分析は、JIS H 0615で定められ高い波長分解能のフォトルミネッセンス装置が必要です。

顕微フォトルミネッセンス測定装置 LabRAM-HR PL

● 非破壊、非接触による、不純物評価、結晶性評価
● ツエルニターナ型分光器(焦点距離800mm)により、高精度測定が可能
● 複数のレーザを搭載可能(DUV〜NIR)

CIGS太陽電池の解析

深さ方向の元素分布分析

1um/min程度のスパッタリングレートで分析できるため、オージェ分析やXPS分析では不可能な迅速分析ができます。またマトリクス影響も小さいため、SIMS分析では難しい定量分析も可能です。検量線を用いれば、簡単に組成分析が可能です。

マーカス型高周波グロー放電発光表面分析装置 GD-Profiler2

● 迅速かつ簡単に深さ方向の元素分布を評価
● H～Uまで検出可能
● 化合物半導体薄膜の研究開発・生産技術・品質管理の分野で幅広く活用

有機薄膜太陽電池の薄膜評価

有機薄膜の膜厚・膜質評価

異方性材料を含む、多層の有機薄膜の膜厚や屈折率を評価でき、配向性の評価に用いることもできます。

有機薄膜の吸光度の波長依存性評価

太陽電池の有機薄膜は吸光度の波長依存性が高く、正確に把握する必要があり、波長毎の消衰係数を容易に得ることができます。

分光エリプソメータ UVISEL Plus

● Åオーダの膜厚の光学定数評価
機械的動作を伴わない位相変調方式と温調機能により、振動などの影響を抑え、高いSN比で信頼性のある評価が可能です。
● 85 μmまでの膜厚評価（膜の状態に依存）
高い波長分解能と独自の光学系により、広いレンジの膜厚評価が可能です。

自動薄膜計測装置 Auto SE

● 非破壊・非接触による測定
● ミューラー行列全16要素測定による薄膜特性評価
● カラービジョンシステムによる厳密な測定位置の確認

エネルギー材料分析・評価のトータルソリューション