高スループット OES Star

概要

HORIBAが独自の光学設計技術で、紫外から近赤外の広い波長範囲で、高分解能で高いスループットを有する分光器を提供します。高度なエレクトロニクス技術により、高速動作かつ高ダイナミックレンジがが得られ、半導体の、エンドポイントモニタや、プラズマ発光分光(OES)に最適です。HORIBAの半導体OES分光器は、お客様から長く高い評価をいただいていますが、本機種は最上位機種です。

特長

  • 高波長分解能(1nm)で高スループット、入力開口数はF/2.3
  • 広い波長範囲 (200nm-1000nm)内で、対称のピーク形状
  • 微弱なプラズマ発光を高感度で検知→エンドポイントモニタに最適
  • 検出器は電子冷却式か非冷却式のCCDの選択可能
  • 裏面照射型のCCD検出器
  • インターフェースUSB2, Eithernet もしくはEitherCAT
  • 高スループットを実現するための独自光学設計
  • 分光器に特化した高度なエレクトロニクス設計により、低ノイズ、高ダイナミックレンジ、高線形性を実現

アプリケーション

  • プラズマ発光分光 
  • Optical Emission Spectrometry (OES) 
  • リフレクトトメトリー
  • プロセスコントロール
  • 品質管理
  • ウェハ検査

※本製品はOEM製品です。貴社装置への搭載にご興味がありましたら、遠慮なくお問い合わせください。量産化に向けた試作機の提供、デモ機の貸出しについてのご相談承ります。


製造会社: HORIBA Scientific

仕様

分光器仕様

波長範囲

185-1050 nm

入力

SMA (標準)、SMA以外入力コネクタも可能

波長分解能

約1.0 nm (幅22 um のスリットを使った場合)
ピーク形状は広波長範囲に渡り対象

平均波長分散

34.6 nm/mm、0.48 nm/pixel(14 um pixel size)

焦点距離

116 nm

F値

F/2.3 (NA:0.22)

波長精度

0.1nm以下

迷光

0.1%以下

 

検出器仕様

 

ハイグレード

ノーマルグレード

画素数

2048 x256

画素サイズ

12 x 12 µm

受光面サイズ

24.5 x 3.0 mm

量子効率(QE)

90% at the peak

冷却温度

-5℃

飽和電荷量

500,000 e-/pixel

読み出しノイズ

50 e- 

ADC分解能

16-bit

ダイナミックレンジ

10,000:1

非線形性

<0.1% (corrected)

<0.1% (corrected)

暗電流

1.5 e-/pixel/s  (@-5℃)

通信インタフェース

USB 2, Ethernet and EtherCAT

周囲温湿度範囲

動作温度: +15℃~ 40℃;  
相対湿度 <70% (結露なきこと);
保管温度: -20℃ ~ 50℃

 

 

 

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