OES-Star

OES-Star UV-VIS-NIR Spectrometer
OES-Star UV-VIS-NIR Spectrometer Spectral Coverage
OES-Star UV-VIS-NIR Spectrometer Quantum Efficiency

高スループット

超高感度モデル, 全波長範囲(200-1000nm)で高分解能, プラズマ発光分光に最適

HORIBAが独自の光学設計技術で、紫外から近赤外の広い波長範囲で、高分解能で高いスループットを有する分光器を提供します。高度なエレクトロニクス技術により、高速動作かつ高ダイナミックレンジがが得られ、半導体のエンドポイントモニタや、プラズマ発光分光(OES)に最適です。HORIBAの半導体OES分光器は、お客様から長く高い評価をいただいていますが、本機種は最上位機種です。

事業セグメント: 科学
製造会社: HORIBA Scientific
  • 高波長分解能(1nm)で高スループット、入力開口数はF/2.3
  • 広い波長範囲 (200nm-1000nm)内で、対称のピーク形状
  • 微弱なプラズマ発光を高感度で検知→エンドポイントモニタに最適
  • 検出器は電子冷却式か非冷却式のCCDの選択可能
  • 裏面照射型のCCD検出器
  • インターフェースUSB2, Eithernet もしくはEitherCAT
  • 高スループットを実現するための独自光学設計
  • 分光器に特化した高度なエレクトロニクス設計により、低ノイズ、高ダイナミックレンジ、高線形性を実現

アプリケーション

  • プラズマ発光分光 
  • Optical Emission Spectrometry (OES) 
  • リフレクトトメトリー
  • プロセスコントロール
  • 品質管理
  • ウェハ検査

※本製品はOEM製品です。貴社装置への搭載にご興味がありましたら、遠慮なくお問い合わせください。量産化に向けた試作機の提供、デモ機の貸出しについてのご相談承ります。

分光器仕様

波長範囲185-1050 nm
入力SMA (標準)、SMA以外入力コネクタも可能
波長分解能約1.0 nm (幅22 um のスリットを使った場合)
ピーク形状は広波長範囲に渡り対象
平均波長分散34.6 nm/mm、0.48 nm/pixel(14 um pixel size)
焦点距離116 nm
F値F/2.3 (NA:0.22)
波長精度0.1nm以下
迷光0.1%以下

検出器仕様

 ハイグレードノーマルグレード
画素数2048 x256 
画素サイズ12 x 12 µm 
受光面サイズ24.5 x 3.0 mm 
量子効率(QE)90% at the peak 
冷却温度-5℃ 
飽和電荷量500,000 e-/pixel 
読み出しノイズ50 e-  
ADC分解能16-bit 
ダイナミックレンジ10,000:1 
非線形性<0.1% (corrected)<0.1% (corrected)
暗電流1.5 e-/pixel/s  (@-5℃) 
通信インタフェースUSB 2, Ethernet and EtherCAT 
周囲温湿度範囲動作温度: +15℃~ 40℃;  
相対湿度 <70% (結露なきこと);
保管温度: -20℃ ~ 50℃

 

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