VS70-MC

VS70-MC
VS70-MC Spectral Coverage

EtherCAT対応小型分光器

EitherCAT、Ethernet, USBが接続可能な小型分光器です。自社設計、自社製の凹面回折格子を搭載した分光器で、迷光や収差の小さい光学系を実現しています。200 nm-900 nm の波長範囲で、高感度・高分解能設計のため、半導体プラズマモニタ、ウェハ検査用にも使用可能です。他の波長範囲ご希望の方もご相談ください。

事業セグメント: 科学
製造会社: HORIBA Scientific
  • マルチインターフェース(USB2, Ethernet, EtherCAT )
  • 高分解能、高スループット
  • 均一なスペクトル応答
  • 広い波長範囲 紫外から近赤外まで
  • 高SN比、高ダイナミックレンジ
  • 高スループットかつ低迷光
  • インターフェース:USB2 Ethernet, EtherCAT

アプリケーション

  • 半導体プラズマモニタ
  • Optical Emission Spectrometry
  • 蛍光
  • 吸収測定
  • 反射測定
  • ライフサイエンス
  • プロセスモニタリング

※本製品はOEM製品です。貴社装置への搭載にご興味がありましたら、遠慮なくお問い合わせください。量産化に向けた試作機の提供、デモ機の貸出しについてのご相談承ります。

分光器仕様

波長範囲200nm -910nm 
入力FC /SMA/ 他のコネクタはご相談ください
波長分解能2 nm
波長分散25.2nm/mm 
焦点距離70 mm
F値F/2.3
迷光< 0.4% (typical)
波長精度0.4 nm

検出器仕様

 CCD 非冷却CCD 冷却
画素数2048 x 70
CMOS画素サイズ14 μm x 14 μm
検出エリア28.7 mm x 1 mm
量子効率75%  for 450-700 nm
センサー温度非冷却5℃
飽和電荷容量200 ke- (min)
235 ke- (typ)
通信インタフェースUSB 2.0 HS, Ethernet(10/100) or EtherCAT
スペクトルレート770 spectra/s
読み出しノイズ30 e- (typ) 
AD変換16-bit 
ダイナミックレンジ7,800:1 (typ)
最大S/N比447:1  (min)
485:1 (typ)
暗電流50 e- /pixel/s (typ)7 e- /pixel/s (typ)
非線形性< 0.4%  (補正後)
コミュニケーションモード・Eithernet/EtherCAT/USB2.0
・Ethernet & EtherCAT (同時)
周囲温湿度動作周囲温度15~40℃
相対温度<85%(結露なし)
保管温度-25~45℃
電源24VDC @ 0.36A (typical) 3 -Pin M8 Connector
9-PIN DB9 Connector
ソフトウェア専用デモソフトウェアでご評価いただけます。
DLL提供もいたします。

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